范引入了新的一类极端的高分辨率扫描电子显微镜

范麦哲伦™家族的公告,公司推出了一个新类的仪器称为极端高分辨率扫描电子显微镜(XHR sem)。

范说,麦哲伦XHR SEM允许科学家和工程师快速看到之前看不到的东西,比如三维表面图像在许多不同的角度和决议一个纳米以下(大小的十个氢原子,并排)。麦哲伦XHR SEM图像样本以非常低的光束能量,避免扭曲,否则引起的光束穿透到下面的材料。

事实上决议在科学研究和工业研发临界值。此外,它是一个绝对的要求在发展过程中,监测和控制应用于先进的半导体制造。

麦哲伦家族这种能力扩展到应用程序,这些应用程序在以前不可能或不切实际的常规扫描电镜,透射电子显微镜(TEM)或聚焦离子束(FIB)系统。

麦哲伦家族的性能来源于新电子光学的集成元素,专有的电子枪技术,高精度五轴压电陶瓷阶段和高稳定平台完全可配置分析室。舞台上容易适应大样本或多个较小的样本,同时提供快速、准确的导航和无与伦比的稳定性。

麦哲伦家族有两种模型:麦哲伦400优化科研而麦哲伦400 l是优化了半导体实验室。半导体实验室模型有一个负载制动功能,加快样品处理量,并包括一个可伸缩的固态后向散射电子探测器(下面)和S2合规工具包。

两种模型有一个可选的,全环保围栏隔离工具从热声干扰,确保最佳性能而放松网站需求和设施成本做准备。麦哲伦家庭用于购买现在,最初的发货计划在2008年9月开始。