螳螂沉积已经发布了一个小册子QPrep250沉积系统。
涡轮泵QPrep250旨在提供一个平台,蒸发,溅射,纳米颗粒沉积,氧化氮化/增长,离子束辅助和许多其他研发薄膜加工需求。
基本QPrep250是标准配置一个螳螂QUAD-EV“迷你”电子束蒸发源与4-pocket 4-material能力。
每个口袋可以使用材料棒或坩埚顺序或共沉积。
内置的通量监测在每个口袋位置提供了沉积速率反馈控制。
存放到一个小的工具设置衬底(通常1 - 2“直径),以低利率和专门的研究。
蒸发物是局限于一个狭窄的圆锥15度的散度与精细沉积速率控制。
