洁净室环境中挥发性有机污染物的监测

在生产过程中，VOCs会导致光学器件、掩模、晶圆的雾霾以及薄膜和颗粒的形成等严重问题。由于VOC污染过高，停工时间会显著增加。质子转移反应-质谱法，本应用笔记中详细介绍的超灵敏在线测量解决方案，提供了检测有机污染和连续监测洁净室环境的强大工具。