范和CEA-Leti进入联合协议描述先进的半导体材料

范和CEA-Leti宣布公司已经签订了三年的协议描述先进半导体材料为22纳米技术节点。

欧洲CEA-Leti,两个合作伙伴MINATEC NanoCharacterization平台的校园,CEA-Liten(新能源新材料)和CEA-INAC(纳米科学研究所),将他们的专业知识在全息术和nanobeam衍射。

范将提供先进的nanobeam衍射技术的泰坦™扫描透射电子显微镜(S / TEM),世界上最强大的,商业化显微镜。公司将测量应变半导体结构的变化。

”的研究将集中在两个重要方面:使用全息术与泰坦的独特XFEG电子源提高掺杂剂的敏感性分析,和使用nanobeam衍射技术测量应变和其他晶体参数的变化,”乔治说斯科尔斯,范副总裁和总经理的S / TEM产品线。

斯科尔斯继续说道,“泰坦,范是一个领袖在这些领域,我们期待着与他们独特的平台上CEA-Leti特性和纳米级继续推进技术。”

“我们必须提高灵敏度、准确性和吞吐量的掺杂剂分析为了继续支持减少设备尺寸。和更好的理解应变的影响是至关重要的高性能集成电路发展的设备在我们继续推动技术22纳米技术节点,“鲁迪柯尔尼,范副总裁和总经理的电子部门。

根据Laurent马利,CEA-Leti的CEO,“我们选择范一起工作在这三年的研究项目,不仅因为他们的强大,商业化显微镜,但也因为他们的特殊专长nanobeam衍射的应用程序。在一起,我们希望解决几个关键的技术半导体行业面临的障碍,因为它继续推动设备尺寸和性能信封,还挑战表征材料用于纳电子学和纳米科学的更广泛。”