FEI与Nanonics签订合作协议

FEI公司宣布已与以色列Nanonics Imaging Ltd.达成合作协议，探索在FEI DualBeam聚焦离子束(FIB)/扫描电子显微镜(SEM)系统中添加原子力显微镜(AFM)的可行性。

AFM用于在纳米尺度上成像、测量和操纵物质。它使用机械探针来测量样品的表面形貌。DualBeam是一种FIB/SEM系统，可提供纳米级的三维成像和分析。DualBeam使用扫描电镜对fib磨铣截面进行成像，揭示了地下特征。