范公司加入SEMATECH计量研究UAlbany NanoCollege

范公司和范SEMATECH已经宣布公司已加入SEMATECH先进计量发展项目纳米科学和工程学院的大学奥尔巴尼(CNSE)。合作将扩大对当前新技术发展的共同努力,使改进的过程控制和收益。

范作为这个项目的一员,将与SEMATECH的计量部门的专家合作,开发高分辨率透射电子显微镜(TEM)分析能力,与电子能量损失谱(鳗鱼)和聚焦离子束(FIB)技术在过程开发和缺陷解决关键的需求分析。这些工具将提供高分辨率成像和组成数据几纳米的规模,这是非常宝贵的缺陷分析。

“先进发展计量程序是一个典型的例子SEMATECH协作模型的主要设备和材料制造商可以参与更广泛的consortium-university-industry合作开发先进的计量和表征技术,”约翰·Warlaumont说SEMATECH技术副总裁。

“世界级的研究人员和工程师之间的合作从范,SEMATECH CNSE,连同访问关键在CNSE实验室分析设备,形成一个重要的基石为我们的会员提供先进的计量能力。”

范”是骄傲的供应SEMATECH高度先进wafer-to-TEM数据设备套件,这将帮助他们最大化的高分辨率成像和分析数据输出为下一代半导体器件,"鲁迪·科尔纳说,范副总裁和总经理的电子部门。

“利用自动化,高通量CLM +™TEM样品制备的解决方案,结合范TEMLink薄板提升系统,SEMATECH能够产生一个稳定的供应高质量的TEM薄板泰坦TEM。配备了新的多负载double-tilt样品持有人,泰坦TEM达到空前的水平连接跨系统平台启用安全、可靠和可追踪的样品转移。”

分析TEM历来用于基本先进材料的研究开发。然而,随着纳米尺度电子设备的方法,甚至几个原子组成的缺陷成为关键。

TEM和鳗鱼的结合提供了详细信息物理结构,原子排列、化学键、密度、和电子在纳米尺度的行为。的结果是一个更完整的档案材料比可能会是较小的一组技术。

”范的集成的TEM鳗鱼是一个基于领先的候选人取代SEM - EDX内联元素分析缺陷的45 nm节点和下面,”布拉德·泰尔说,CNSE纳米科学的副教授和SEMATECH先进计量发展项目主任UAlbany NanoCollege。

“我们欢迎范的会员,期待他们的参与我们共同驱动的开发流程,材料,和表征技术的持续进步和领导力的关键纳米制造”。

范”我们很高兴欢迎业界领先公司的名单越来越长从事尖端纳电子学研究和开发UAlbany NanoCollege,”Richard Brilla说副总裁战略、联盟和CNSE财团。“这范合作关系进一步表明SEMATECH-CNSE伙伴关系的成功加速纳米创新,支持创业教育,和培养高科技经济增长,所有这些强调纽约承认作为一个全球领先的纳米技术。”

新材料融入半导体器件需要先进的分析表征技术如TEM提供的高分辨率成像功能。FIB技术特别适合制备超薄TEM样品从即使是最小的设备特性。