HfO中m-t相变的焓和体积变化²

客观的
高频振荡器²是一种具有应用前景的高温陶瓷和(1100以上的相变增韧)材料^OC)集成电路中的高k介质(与SiO相比降低漏电电流。高频振荡器²与氧化锆等结构，并进行单斜-四方和四方-立方与温带转换。

高温相是不可淬灭的，但可以在高面积样品中获得。单临床-四方转变在哈夫尼亚的应用是至关重要的。然而，目前还没有HfO相变的热化学数据²本工作的目的是确定HfO中m-t跃迁的焓变和体积变化²通过直接测量。