在微尺度坐标测量

国家物理实验室(不良贷款)家族的新成员的坐标测量机(机):蔡司F25。F25扩展了不良贷款的坐标测量功能的微尺度。

不良贷款最近交付的蔡司F25 Micro-CMM。完成系统调试和操作培训和CMM现在可以为客户测量。

F25已开发促进微型组件的测量并能准确,3 d测量复杂,精密组件的工作容积内100 mm x 100 mm x 100 mm。

F25配备一个触摸和光学探针位于同一探针头。触摸探针的设计是基于硅片膜和集成压阻元素,和综合探测笔配备了精密球小费。这种测量系统,结合机运动学,使F25实现测量的不确定性在分辨率为7.5 nm 250海里。

这个触摸传感器技术也允许调查与非常低的探测部队,0.5 mN的顺序。触摸探测系统是专为探针尖笔与球顶端直径125毫米700 ? m和手写笔的长度4毫米。

F25光学探测系统由ViScan相机传感器结合高质量的物镜。光学传感器可以提供2 d测量不确定度与测量,400毫米,并允许测量柔软和脆弱的组件。

F25配有测量软件允许操作员执行广泛的测量任务标准几何形式或自由表面使用各种测量策略。应用包括柴油喷射喷嘴,复杂的造型工具,高度非球面或自由的光学,和高纵横比的微观结构。

F25只是一个套件的仪器测量系统中提供的支持CEMMNT(卓越中心为微观和纳米计量技术)的伙伴关系。目前不良贷款进行研究降低探测范围的大小,使测量更小的结构。