电等离子体诊断工具

专门为基础等离子体物理研究开发的隐藏分析等离子体诊断工具的范围现在扩展了新的PSM等离子体监视器。该家族现在包括两个质谱仪系统- PSM和EQP II -以及Espion langmuir式等离子体探针。

质谱仪提供等离子体离子和中性物种的测量，集成的能量滤波器可以测量每种等离子体离子类型的能量。PSM系统配置为提供正离子测量，EQP II系统提供正离子和负离子测量。全面的附件系列包括单级，双级和三级减压系统，用于从毫微米到大气的过程压力采样，质量范围选项到1000amu，离子能量测量到1000eV，以及全面的磁屏蔽。

hidden Espion Langmuir探针提供了主要直流和射频等离子体参数的静态和空间测量，包括离子密度、电子密度、电子温度分布和等离子体均匀性。探头可选长度可达1.2M，线性运动驱动器行程可达0.9M。探头和线性驱动操作都是完全可编程的。

所有系统都具有先进的控制技术，集成定时和门控电路，亚微秒响应，以实现脉冲等离子体过程的最佳特性。