增强icp Ultra-trace三重四极技术分析

半导体晶圆制造厂和超高纯度化学品供应商现在可以加强监控中的微量元素具有挑战性的样本矩阵新的三重四极电感耦合等离子体质谱仪(icp),提供sub-parts-per-trillion detection-making超净应用的理想解决方案。

这个创新系统是专为杰出的生产率以最小errors-targeting一致的性能和可靠的数据进行例行检查超纯化学物质的晶片制造工艺和质量控制。增强的热科学iCAP tq icp系统首次亮相Pittcon 2018在奥兰多橘郡会议中心。

”有一个不断增长的需求推动的边界检测,尤其是在半导体工业及相关工业领域,“说Miguel Faustino高级总监和总经理、微量元素分析、色谱分析和质谱、热费希尔科学。“我们增强iCAP tq icp将使客户确保晶片制造过程中的质量控制,最终提高半导体晶片产量。”

iCAP的tq icp保留所有大小和易用性的好处通过简化工作流现有的产品线,同时提供改进的数据质量和性能通过结合冷等离子体三重四极干扰删除操作和强大。当结合热科学Qtegra智能科学数据软件,直观的用户界面和反应仪工具,生产设备可以减少费时的方法开发和更有效率,更快。

系统需要最小的用户维护和包括一个完全惰性进样系统,洁净室环境干泵和一个专门的实验室气体分布装置安全性和最大的灵活性。符合人机工程学的台式设计一个紧凑的排放量限制的使用价值的实验室空间和促进与特别设计的集成外围设备在线监测过程的化学物质或汽相淀积(VPD)分析。