FEI介绍了新类别的超高分辨率扫描电子显微镜

随着麦哲伦™家族的宣布，FEI公司推出了一类新的仪器，称为超高分辨率扫描电子显微镜(XHR sem)。

FEI说，麦哲伦XHR扫描电镜可以让科学家和工程师快速看到他们以前看不到的东西，比如在许多不同角度和分辨率低于一纳米(大约十个氢原子并排的大小)的3D表面图像。麦哲伦XHR扫描电镜在非常低的光束能量下对样品进行成像，避免了由于光束穿透下面的材料而引起的扭曲。

亚纳米分辨率在科学研究和工业研发中具有重要价值。此外，它是先进半导体制造中工艺开发、监控和控制应用的绝对要求。

Magellan家族将这种能力扩展到以前传统SEM、透射电子显微镜(TEM)或聚焦离子束(FIB)系统不可能或不切实际的应用领域。

麦哲伦系列的性能来自于集成了新型电子光学元件、专有电子枪技术、高精度五轴压电陶瓷工作台和高稳定性平台以及完全可配置的分析室。该阶段易于容纳大样本或多个小样本，同时提供快速，准确的导航和无与伦比的稳定性。

麦哲伦系列有两种型号:麦哲伦400为科学研究而优化，而麦哲伦400L为半导体实验室而优化。半导体实验室模型具有负载锁定功能，可加快样品吞吐量，并包括一个可伸缩的固态背散射电子探测器(SSBSED)和S2合规套件。

这两种型号都有一个可选的全环境外壳，以隔离仪器的热和声干扰，确保峰值性能，同时放松场地要求和设施准备成本。麦哲伦家族现在可以购买，首批发货计划在2008年9月开始。