创新的组合FIB /扫描电镜样品制备技术与激光烧蚀快

卡尔蔡司已经启动了御夫座®激光,一个新的先进的系统相结合的具体优势御夫座®横梁(FIB-SEM)工作站的功能快速消融的脉冲micro focus激光器材料。

御夫座®激光特别有用的考试目标样本结构深深埋在材料层。

获得目标结构这种材料需要删除——一个过程与传统技术难以进行。

机械消融和浆纱切片的大量材料经常引起变形,使样品不适合进一步检查。相比之下,应用聚焦离子束是低效的,因为这个过程太缓慢。

与脉冲烧蚀micro focus激光束提供明显的优势:它不损伤样品,和它使烧蚀率与机械去除。

扫描激光用于这种独特的解决方案是一个纳秒脉冲,二极管抽运固体激光器提供的操作在355 nm TRUMPF AG(迪,德国)。

选择从广泛的不同类型的激光器最佳满足的要求准备结构扫描电镜检查。

在与卡尔蔡司的合作,弗劳恩霍夫研究所的研究人员为非破坏性测试(IZFP Fraunhofer-Institut毛皮Zerstorungsfreie Prufverfahren)在德累斯顿,优化了工作流程的创新工具,易于使用,快速转移过程和快速转移的样本在检查中感兴趣的区域,采取中心舞台的合作。

为了保护御夫座FIB-SEM工作站和探测器从碎片在激光烧蚀过程中生成的,该系统配有单独的激光室操作。

后准备激光样品的结构感兴趣的是在真空条件下转移到主燃烧室扫描电镜检查或FIB抛光。自动检索目标结构实现。

转移进行迅速和顺利在几秒钟内,导致一个非常简单的和连续的工作流。实现特定的烧蚀模式激光配备了CAD软件控制扫描仪的头。这使得用户预定义甚至样品结构的高度复杂的模式。

御夫座®激光是市场上第一个这样的工具。横梁产品线总监Martin博士Kienle卡尔蔡司,相信:

“御夫座®简化激光是一个里程碑的扫描电镜检查很多创新的材料和结构,克服了传统制备方法的局限性。它允许用户执行新的应用程序和检查复杂的结构像下一代纳米技术处理器或灵活的薄膜太阳能电池。”

未来的应用包括半导体制造、光电、聚合物电子、加入和接触技术,石油和天然气勘探,地质咨询、医药、生命科学和材料研究。

该系统也适用于制备微系统包含软或脆弱的阶段,如泡沫,轻质建筑材料、玻璃纤维、陶瓷、复合材料、孔隙过滤器、电池、燃料电池或地质样品。