JEOL引入了新的聚焦离子波束扫描电子显微镜系统

JEOL已经开发了一个新的聚焦离子束(FIB)解决方案之前制备的标本在透射电子显微镜(TEM)观察。新JIB-PS500i是一种多用途的FIB-SEM,提供快速样品制备的协同作用,扫描电镜成像和EDS分析在一个乐器。

高质量的快速TEM样品制备

新的FIB样品阶段提供了快速处理和成像之间的过渡,使标本质量的实时反馈。有能力准备样品比30 nm,薄FIB-SEM产生样本适合优越原子分辨率成像和分析茎(扫描透射电子显微镜)。可伸缩的茎探测器允许容易收购明视场和暗场图像处理过程中精确地评估透射电镜样品的制备。操作员可以很容易地准备TEM标本使用STEMPLING2自动TEM样品制备系统,它允许无人准备多个样本。

一个特别设计的double-tilt样品持有人,TEM-Linkage,允许直接从FIB-SEM无缝传输TEM。

新的大室/阶段最终样品制备的灵活性

JIB-PS500i FIB的关键优势是快捷的大样品室门。这个设计支持高效的工作流程和各种样品和过程的灵活性。五轴full-eucentric大型电动机舞台设计运输大型和多个样本在XY方向,和倾斜和旋转范围广泛的阶段。

新的FIB列以低kV电流和较高的性能优越

一个新的高电流(100 nA) FIB列是大面积处理和分析特别有效,适合半导体样品。新FIB细研磨能力必不可少的质量层制备高性能成像,EDS分析和三维显微镜。新JIB-PS500i性能优越的kV范围低,低至0.5 kV,梁敏感材料的必要条件。