螳螂推出低成本沉积系统

Mantis Deposition发布了一本关于QPrep250沉积系统的小册子。

涡轮泵QPrep250旨在为蒸发、溅射、纳米颗粒沉积、氧化物/氮化物生长、离子束辅助和许多其他研发薄膜处理需求提供平台。

基本的QPrep250标准配置了一个Mantis quadv - ev“迷你”电子束蒸发源，具有4-口袋4-材料能力。

每个口袋可以采用材料棒或坩埚连续或共沉积。

内置通量监测在每个口袋位置提供沉积速率控制反馈。

该工具可在较小的衬底(直径通常为1-2英寸)上以较低的速率沉积，是专门为研究而设计的。

蒸发器被限制在一个狭窄的圆锥与15度的发散细沉积速率控制。