SEM校准的新标准

他们决议宣布新的SEM标准校准——EM-Tec MCS系列。

EM决议扩展其扫描电镜的分辨率和放大标准范围的介绍EM-Tec MCS和M系列放大校准标准。这些功能完备实用的校准标准已专门开发放大校准或临界尺寸测量在桌面SEM,标准的扫描电镜,FEGSEM, FIB,钻、西姆斯和反射光显微镜系统。

EM-Tec MCS系列是由使用最新的MEMS制造技术与高对比度沉积铬线更大的特性和黄金在铬低于2.5µm较小的特征。这样可以确保最佳信噪比用于校准。

MCS-1有规模从2.5毫米到1µm适合桌面和sem紧凑,占地10到20000倍的放大。mcs - 0.1范围覆盖更大范围从2.5毫米到100海里,特别适合10到200000 x在SEM, FEGSEM和FIB系统。

一辆校准标准网格图案蚀刻在一个超平平Si衬底的表面,并提供一个简单而实用的工具放大标定和图像失真的评估。一辆10µm间距网格模式适用于100 - 1000 x放大。

MCS和M校准标准都提供证书的可追溯性。MCS系列的选择一个单独的校准证书。mcs - 0.1校准标准是一个很好的替代停止SIRA校准标准,增加优势。

这些标准也可以提供我们的多标准范围的一部分。常用的“黄金碳”和“碳锡”解决用户选择的标准可以结合在一个存根MCS和M系列标准快速和简单的覆盖所有常用的SEM校准。